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작성자 PSI
댓글 0건 조회 2,009회 작성일 14-07-15 16:59

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반도체 웨이퍼의 마커등의 어라이먼트에 사용하는 극소각도 조정용

자동 회전 스테이지 입니다.

 

● 시료마다 미소한 회전 각도를 조정하는 자동 어라이먼트 장치 등의 용도로 최적입니다.

● 구동기구에 볼 나사를 사용해 부품의 마모나 흔들림을 줄이고, 

고내구성을 실현하였습니다.

● 볼 나사에 의한 직선운동을 스틸벨트에 의한 회전운동으로 변환했기 때문에

분해능이나 회전속도는 스트로크 센터와 스트로크 엔드로 차가 발생하지 않습니다.

 

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